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平面CT
平面CT专业用于检测和分析板状结构器件内部质量与结构情况
，适用PCB板
，BGA
、SMT
，集成芯片等器件和加工工艺的质量评定与分析
。重构出扫描区三维断层图像
，实现对板状器件缺陷的空间定位
，以及逆向生成电路板CAD设计
。
检测对象
印刷电路板 ，电子与机械 ，模块 ，机电 ，组件和插头 ，半导体封装与互连 ，微系统 ，传感器 ，执行器 ，MEMS和MOEMS
主要技术参数
● 管电压 ：160kV或225kV
● 管类型 ：开放式微焦点射线管
● 靶 ：透射式
● 靶材 ：钨靶
● JIMA分辨率 ：至高可达0.5μm
● 扫描方式 ：锥扫
● 探测器 ：数字平板探测器
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